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硅晶圓的重要性以及生產時為何需要超純水設備?

時間:2023-11-20

  前言:硅晶圓是現代微電子工業的基礎材料,對于現代科技的發展具有至關重要的意義。微電子技術的發展已成為信息技術、航空航天、軍事、通信、能源等眾多領域的基礎,而這一切都離不開硅晶圓的生產。而在硅晶圓制造工藝中還離不開一種設備的身影,那就是超純水設備。

  硅晶圓的制造過程中為何需要超純水設備?

  因為,硅晶圓的制造過程中,需要使用大量的水進行清洗和蝕刻。如果水質中含有雜質,就會對硅晶圓表面造成劃痕或腐蝕,影響產品的質量。超純水設備可以去除水中的微粒、有機物、無機物和其他雜質,確保水質達到極高純度,從而保證硅晶圓的質量。

  硅晶圓生產中應用的超純水設備主要采用的是預處理+反滲透+EDI+混床的組合形式來制備超純水。設備具有高效低能、運行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小,運行時間長等優點。并且設備采用的EDI模塊可以避免添加任何化學品,不僅減少了化學品運輸問題,同時降低了系統運行費用。EDI模塊的應用不會產生酸堿廢液,因此不需要酸堿中和處理,這也就減少了一定的投資成本。

超純水設備

  超純水設備不僅擁有上述的優勢,還能夠連續穩定地制備品質優良的超純水,水質符合國家GMP認證規定標準,而且還能夠滿足各種工業用水的不同需求,應用范圍非常廣泛,可適用于電子、半導體、線路板、集成電路、精密機械的生產和清洗,還可以應用在食品、飲品和飲用水的制取行業中。

  結論:硅晶圓作為現代微電子工業的基礎材料,超純水設備能夠提供高純度的水,可以有效避免因水質問題引發的硅晶圓被劃產生劃痕等問題,保證了硅片的質量和性能。因此,超純水設備是生產高質量硅晶圓的必要條件。

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  編輯:柒柒   技術:米

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